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[학술지 논문] A Novel MEMS Capacitor with a Side Wall for High Tuning Ranges

2022-12-08

저자명	Kibum Lee and Jinho Kim
게재지명	Applied Science
수록면	Vol.12  Issue. 21
게재연도	2022.10.26

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  복합적인 불확정성 요인을 고려한 현가장치 최적설계

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